- PI(Polyimide) chuck - 세라믹 소결 Chuck - 세라믹 용사코팅 Chuck
진공에선 사용불가
물리적인 Chuck을 통한 생산 Loss 발생
온도 변화에 취약하여 적용 제약이 많음
피대상물이 자성체일 경우만 가능함
[ 진공환경 및 대면적 ESC는 세라믹 용사코팅이 유일한 방법 ]
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