두 금속판 사이에서 전압을 가하게 되면 두 전극판 사이에 전위차가 발생하여 전기적힘(인력)이 발생하게 되는데 이때의 힘을 정전력(Electrostatic Force)이라 한다. 특히 Mono-Polar ESC는 극이 한극으로 되어 있고, 다른 외부요인이 반대의 극성을 형성시켜 인력을 형성시키도록 하는 ESC 이다.

- 디스플레이 TFT 공정에 필요한 건식 식각 장비의 핵심부품으로 Plasma 상태를 여기시켜증착막을 깍아내는 공정에 활용할 수 있음
- 진공상태의 Plasma 여기상태(Excited State)에서면 가능하므로 쉽게 기능구현 불가능함
- 증착공정에 쓰이는 Fine Metal Mask(FMM)의 제작시 마스크 소재의 Align이 틀어지지 않도록 Holding 할 수 있도록 함
- 구조가 간단하고, 내구성이 우수한 제품으로 구현가능함.